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真空传感器的工作原理主要是利用某些物质在真空或特定压力下的特性变化来检测真空度的变化，它们通常包含一个压力传感器和一个真空计，压力传感器将压力转换为电信号输出，而真空计则用于测量真空腔内的压力变化，这些传感器广泛应用于各种领域，如航空航天、半导体制造等，至于真空泵，其主要功能是抽除气体，产生真空环境，与真空传感器配合使用以实现真空度的控制和监测。
关于真空传感器和真空泵与光纤传感器的测量范围，这是一个相对广泛的主题，具体范围取决于许多因素，如产品类型、制造商和应用场景等，真空传感器的测量范围可能从低至极高真空度的环境都有可能，光纤传感器的测量范围则取决于其具体应用和类型，例如某些光纤传感器可能用于测量距离、位移、振动等参数，其测量范围可以从几微米到数百米不等。
为了获取具体的测量范围和其他技术参数，建议查阅特定产品规格书或联系制造商获取详细信息。